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EPI镜面反射镀金件

EPI 镜面反射镀金件(外延炉 / 外延设备反射镜镀金组件)是半导体外延(EPI)设备中负责红外辐射反射、均匀控温、腔体热场稳定的核心精密部件,主要用于硅外延等设备的加热腔、辐射腔、灯室、热屏

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